今回は排気セットVPC-250Fの現地整備を行いました。
作業内容は、
・ロータリーポンプのオイル交換
・拡散ポンプの清掃、オイル交換
・三方弁の分解整備
・バタフライバルブの分解整備
以上となります。
↑三方弁（分解前）
分解すると内部のシートパッキンが切れていました。
これにより真空度が安定しなかったり、オイル上がりが発生したりする原因となります。
また、三方弁は組付け方を間違えると排気経路がおかしくなるため、
しっかりマーキングを行ってから分解します。
ダイヤフラムバルブは、パッキンは摩耗している状態でしたが、
動作に問題はなく分解整備時に清掃を行い復旧しました。
作業後はロータリーポンプを運転し、バルブの動作を確認しました。
拡散ポンプの試運転はチャンバー部分が取り外されていたため、
お客様にてお願いいたしました。
